真(zhen)空(kong)壓力傳(chuan)感器采用熱(re)壓鑄工(gong)藝(yi)高(gao)溫燒(shao)制成(cheng)型(xing)。陶瓷膜片與(yu)瓷環之間(jian)采用高(gao)溫玻(bo)璃漿(jiang)料，通過厚(hou)膜印(yin)刷(shua)、熱(re)燒(shao)成(cheng)技術(shu)燒制在(zai)壹起，形成(cheng)周(zhou)邊固(gu)支(zhi)的感力杯(bei)狀(zhuang)彈性體，即在(zai)陶瓷的周(zhou)邊固(gu)支(zhi)部分(fen)應形(xing)成(cheng)無蠕變(bian)的剛性(xing)結構(gou)。在(zai)陶瓷膜片上(shang)表面，即(ji)瓷杯底部，用厚(hou)膜工(gong)藝(yi)技(ji)術(shu)做成(cheng)傳(chuan)感器的(de)電(dian)路。陶瓷蓋(gai)板(ban)下(xia)部的圓(yuan)形(xing)凹(ao)槽(cao)使(shi)蓋(gai)板(ban)與(yu)膜片之(zhi)間(jian)形成(cheng)壹定間(jian)隙，通過限位(wei)可(ke)防(fang)止膜片過(guo)載(zai)時(shi)因(yin)過(guo)度彎曲(qu)而破(po)裂，形(xing)成(cheng)對傳(chuan)感器的(de)抗過(guo)載(zai)保護。
真(zhen)空(kong)壓力傳(chuan)感器的(de)工(gong)作原理(li)：
可(ke)使(shi)用多種(zhong)不同(tong)的(de)技(ji)術來(lai)提(ti)供(gong)準(zhun)確的結果。
基(ji)於應變(bian)的(de)傳(chuan)感器使(shi)用應變(bian)片(pian)作為(wei)壓力敏感元件(jian)，通常是將金屬箔(bo)式(shi)應變(bian)片(pian)或是膜片粘(zhan)合(he)到(dao)圓(yuan)柱(zhu)形(xing)彈性體上。應變(bian)原理(li)的(de)較(jiao)大優點是具有*剛度，可(ke)測(ce)量高(gao)達(da)15000bar的*壓力。電(dian)連(lian)接(jie)通常通過惠斯通電橋完成(cheng)，具有*的精(jing)確性(xing)和(he)壹致(zhi)的(de)測(ce)量結(jie)果。
使(shi)用壓力腔和(he)膜片來(lai)產生可(ke)變(bian)電容(rong)。當(dang)施加壓力時(shi)，隔膜變形(xing)，電容(rong)相(xiang)應減(jian)小(xiao)。通過測(ce)量電(dian)路即可(ke)輸出(chu)與(yu)電(dian)壓成(cheng)壹定關(guan)系(xi)的電信號(hao)。這(zhe)些(xie)傳(chuan)感器僅限於大(da)約40bar的低(di)壓。
由壹個(ge)主要由(you)矽制成(cheng)的膜片組(zu)成(cheng)，采用集成(cheng)的應變(bian)片(pian)來檢測(ce)施加的壓力而產生(sheng)的應變(bian)。通常采用惠斯通電橋來降(jiang)低(di)靈敏度並增(zeng)加輸出(chu)。
安(an)裝：
1.保證(zheng)變(bian)送(song)器垂直於地(di)面(mian)安裝，安(an)裝過(guo)程中應使(shi)用扳手(shou)從變送(song)器底部的六方螺(luo)帽(mao)處(chu)將變送(song)器擰緊，避免(mian)直接(jie)旋動(dong)變(bian)送(song)器上部；
2.當測(ce)量變(bian)化速度較(jiao)快的(de)壓力時(shi)，應當(dang)在(zai)變送(song)器和(he)被(bei)測(ce)介(jie)質的連(lian)接(jie)出(chu)口處(chu)加裝壓力緩(huan)沖(chong)裝置，以避免(mian)瞬間(jian)的脈(mai)沖(chong)高(gao)壓直接(jie)沖(chong)擊(ji)變送(song)器的測(ce)量元件(jian)，導致變(bian)送(song)器失效(xiao)。
試(shi)運(yun)行(xing)為確(que)保變送(song)器能(neng)夠(gou)穩(wen)定準確(que)的正(zheng)常(chang)工(gong)作，測(ce)試(shi)壓力前(qian)應通電預熱(re)幾(ji)分(fen)鐘。在(zai)壓力測(ce)量過(guo)程中，應緩(huan)慢(man)加壓和(he)卸壓，避免(mian)瞬間(jian)加至高(gao)壓或降(jiang)至低(di)壓。
真(zhen)空(kong)壓力傳(chuan)感器是能(neng)感受(shou)壓力信號(hao)，並(bing)能(neng)按(an)照(zhao)壹定的規(gui)律將壓力信號(hao)轉(zhuan)換成(cheng)可(ke)用(yong)的輸出(chu)的(de)電(dian)信號(hao)的(de)器(qi)件(jian)或裝置。可(ke)以通過它們所(suo)能(neng)測(ce)量的(de)壓強範圍，工(gong)作溫度以及壓強類(lei)型(xing)而進行(xing)分(fen)類；其(qi)中最(zui)重要的(de)是壓強類(lei)型(xing)。若依(yi)壓強類(lei)型(xing)分(fen)類的(de)方式(shi)中，則可(ke)以分(fen)為這(zhe)五(wu)種(zhong)：絕對壓力傳(chuan)感器、表(biao)壓力傳(chuan)感器、真(zhen)空(kong)壓力傳(chuan)感器、壓差計(ji)、密(mi)封(feng)壓力傳(chuan)感器。
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